Oprema serije CMP, ki jo je neodvisno razvil LSTD, dobavlja proizvajalci polprevodniških materialov, kot so SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond itd. Oprema za recikliranje rezin je vstopila v več polprevodniških podjetij, kot je SMIC; Avtomatizirana proizvodna linija za poliranje iz silicijevega karbida bo dostavljena v stranko stranke za preizkusno proizvodnjo v Q 1 2024;
Na podlagi prvotnega laboratorija bodo milijoni Yuana vloženi za izgradnjo 100000 ravni, 10000 in 100 ravni čistih prostorov ter natančne testirane opreme, ki jo bomo pregledali in uporabili v drugi polovici leta 2024.
6 "/8" sic polirna linija rezin
6 "/8" sic rezina
Čistilna soba 100 razreda
Stroj za čiščenje z več režami
Pregledna zmogljivost
